特許
J-GLOBAL ID：201103086469769947
半導体デバイス検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-374572
公開番号（公開出願番号）：特開2002-176088
特許番号：特許第3732738号
出願日： 2000年12月08日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 電子ビームを半導体デバイスに照射してそのときに半導体デバイスに生じる電流を測定する半導体デバイス検査装置において、
前記半導体デバイスにおけるホールを含む領域を特定してその領域に電子ビームを照射しそのときに該半導体デバイスに生じる第一の電流を測定する手段と、
前記半導体デバイスにおけるホールを含まない領域を特定してその領域に電子ビームを照射しそのときに該半導体デバイスに生じる第二の電流を測定する手段と、
前記第二の電流から第一の電流を引いたものを測定値として出力することを特徴とする半導体デバイス検査装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66 ( 200 6.01)
, G01B 15/00 ( 200 6.01)
, G01R 31/302 ( 200 6.01)
H01L 21/66 C
, G01B 15/00 B
, G01R 31/28 L
