特許
J-GLOBAL ID：201103086546947667
ロータリ形多段真空ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外4名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-201797
公開番号（公開出願番号）：特開2001-027190
特許番号：特許第3490029号
出願日： 1999年07月15日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ロータリ真空ポンプが複数のポンプ区分により形成され、軸受けに支承される各ポンプ区分の軸、これらの軸に固定されるロータ、該ロータを同期させるために軸端に一対のギヤ、および潤滑油を溜める油槽が設けられ、各ポンプ区分を内蔵するハウジングには、吸込口、吐出口が設けられ、各ポンプ区分の吐出口と次のポンプ区分の吸込口との連結路が設けられ、圧縮される気体は、この連結路を通り次のポンプ区分に吸込まれ、順次各ポンプ区分において圧縮されるロータリ形多段真空ポンプにおいて、多段真空ポンプを構成するポンプ区分の容積の比がポンプ区分の数(n)をポンプ区分の数から1を減じた数(n-1)で除した値より大であるように決定され、かつ真空ポンプは主として高真空領域において作動させられ、真空ポンプの消費動力が低減されるようになっている、ことを特徴とするロータリ形多段真空ポンプ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F04C 23/00 F
, F04C 25/02 K
