特許
J-GLOBAL ID：201103087374869223
成膜装置用部品の製造方法および成膜装置用部品
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-227751
公開番号（公開出願番号）：特開2001-049419
特許番号：特許第3815591号
出願日： 1999年08月11日
公開日（公表日）： 2001年02月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 成膜装置内で使用され、表面に溶射膜が形成されている成膜装置用部品の製造方法において、
前記成膜装置用部品の母材の表面に対し所定の間隔をあけて配置した格子状マスクまたは連子格子状マスクを介して溶射を施すことにより、
前記格子状マスクの開口部に対応する台形状の凸部、または前記連子格子状マスクの開口部に対応する台形状の波形凸部を備え、前記溶射膜自体の表面粗さ(Ra)より大きい多数の凹凸を有する溶射膜を形成させる
ことを特徴とする成膜装置用部品の製造方法。
IPC (4件)：
C23C 4/00 ( 200 6.01)
, B01J 3/00 ( 200 6.01)
, C23C 14/00 ( 200 6.01)
, C23C 16/54 ( 200 6.01)
C23C 4/00
, B01J 3/00 K
, C23C 14/00 B
, C23C 16/54
