特許

J-GLOBAL ID：201103087872887301

垂直作動型プローブカード

発明者： 大久保 昌男 ,  大久保 和正 ,  神田 孝
出願人/特許権者： 日本電子材料株式会社
代理人 (2件)： 大西 孝治 ,  大西 正夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-101969
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292438
特許番号：特許第3558327号
出願日： 1999年04月09日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】測定対象物の電極に垂直に接触するプローブと、このプローブが接続される配線パターンが形成された基板と、この基板の下面側に設けられ、前記プローブを支持するプローブ支持部材とを具備しており、前記プローブは、測定対象物の電極に垂直に接触する微小プローブと、この微小プローブに形成された凹部に先端が嵌まり込む針状プローブとを有しており、前記微小プローブは、上端部の直径が40〜50μm、上端面から下端の接触部までが1mm、前記凹部の深さが150〜200μmに設定されており、前記プローブ支持部材は、前記針状プローブを支持する第1支持部と、前記微少プローブを上面側に塗布された弾性樹脂を介して支持する第2支持部とを有しており、前記第2支持部は、第1支持部に対して着脱可能になっていることを特徴とする垂直作動型プローブカード。

IPC (4件)：

G01R 1/067 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01R 1/067 G ,  G01R 1/073 E ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• プリント配線板の検査治具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-199142   出願人：イビデン株式会社
• 微細構造体の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-051723   出願人：住友電気工業株式会社