回転カップ式薄膜塗布装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：板谷康夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-125622
公開番号（公開出願番号）：特開2000-317353
特許番号：特許第3425538号
出願日： 1999年05月06日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】軸受体に支持された垂直線の軸線回りに回転可能に支持され、かつ、外周壁部に薬液排出孔が設けられた回転カップと、上記回転カップの外周壁部を囲繞し、かつ、上記薬液排出孔に対応した環状の薬液回収通路を有するケ-シングとを備え、前記回転カップの内部空間に装填された基板上に薬液を塗布する回転カップ式薄膜塗布装置において、前記回転カップに、その回転で発生する遠心力を利用して、その回転カップの内部空間に外部の気体を導入させる機構を備え、前記回転カップは、その内部空間が密閉状態又は亜密閉状態とされ、回転カップの上部フ-ドが多重構造とされ、該上部フ-ドが単一又は複数のチャンバ構造を形成していることを特徴とする回転カップ式薄膜塗布装置。

IPC (1件)：