特許
J-GLOBAL ID：200903002868753534
液体噴射ヘッド及び圧電素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
栗原 浩之
, 村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-110583
公開番号（公開出願番号）：特開2009-286119
出願日： 2009年04月30日
公開日（公表日）： 2009年12月10日
要約：
【課題】圧電特性のよい圧電素子を有する液体噴射ヘッド及び圧電素子を提供する。【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた結晶基板からなる流路形成基板と、該流路形成基板上に設けられて前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備し、前記圧電体層が、厚さが5μm以下で且つペロブスカイト型結晶からなると共に、前記圧電体層を、前記流路形成基板の(220)面に由来するX線の回折ピーク位置Aと、前記圧電体層の(110)面に由来するX線の回折ピーク位置Bとの間隔が、2θ=16.262±0.1度の範囲内となるようにする。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた結晶基板からなる流路形成基板と、該流路形成基板上に設けられて前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備し、
前記圧電体層が、厚さが5μm以下で且つペロブスカイト型結晶からなると共に、前記圧電体層は、前記流路形成基板の(220)面に由来するX線の回折ピーク位置と、前記圧電体層の(110)面に由来するX線の回折ピーク位置との間隔が、2θ=16.262±0.1度の範囲内となっていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
IPC (7件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/18
, H01L 41/22
, B41J 2/16
B41J3/04 103A
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 Z
, B41J3/04 103H
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG14
, 2C057AG39
, 2C057AG44
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AG94
, 2C057AP34
, 2C057AP51
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
