窒化物焼結体の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：長谷川文廣 , 渡部章彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-256705
公開番号（公開出願番号）：特開2002-068845
特許番号：特許第3805962号
出願日： 2000年08月28日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】窒化珪素に焼結助剤としてAl2O3 およびYb2O3 を添加して、ミリ波帯電磁波を用いた誘電加熱法により焼結する窒化物焼結体の製造方法にして、窒化物焼結体の所望の相対緻密度が得られる焼結温度を緻密化温度として、上記Al2O3とYb2O3の添加割合の変化に対する緻密化温度の変化に極小点を有する該Al2O3とYb2O3の添加割合と相対緻密度の範囲において、該Al2O3とYb2O3の添加割合を、該緻密化温度の変化のほぼ極小点に定め、ミリ波帯電磁波を用いた誘電加熱法により焼結を行うことを特徴とする窒化物焼結体の製造方法。

IPC (2件)：