特許

J-GLOBAL ID：201103089700569491

ステージ装置及び露光装置

発明者： 浜田 智秀
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (6件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-060906
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260691
特許番号：特許第4341101号
出願日： 1999年03月08日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 定盤と、前記定盤との間に形成されるエアガイド機構を介して該定盤上を移動可能な可動体とを有するステージ装置であって、 前記エアガイド機構の一部を構成し、前記可動体に設けられた複数のエアパッドと、 前記複数のエアパッドの各々に対応して前記定盤の本体部の表面に該定盤の前記本体部の材質とは異なる材質で複数設けられた表面部と、を有し、 前記複数の表面部には、対応するエアパッドと対向し且つ該対応するエアパッドの移動ストロークよりも大きく形成された対向面が形成されているステージ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  G12B 5/00 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/30 503 A ,  G12B 5/00 T

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ステージ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-172855   出願人：株式会社ニコン
• コーテイング方式
  公報種別：公開公報   出願番号：特願昭63-800036   出願人：ゼネラル・エレクトリツク・カンパニイ
• セラミックス製静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-086402   出願人：信越化学工業株式会社