蛍光X線分析用データ処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小林良平
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-140413
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329712
特許番号：特許第3921872号
出願日： 1999年05月20日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】蛍光X線分析において、組成が既知である標準試料の測定によって得られる実測X線強度と計算によって得られる理論X線強度とに基づいて元素感度を求め、組成が未知である未知試料の測定によって得られる実測X線強度と計算によって得られる理論X線強度と前記元素感度とに基づいて含有元素の定量を行うデータ処理装置であって、 a)標準試料の測定時の分析チャンバ内の雰囲気に応じたX線の減衰を考慮した理論X線強度を算出する第1の理論強度算出手段と、 b)第1の理論強度算出手段により算出された理論X線強度と、その理論X線強度算出時に考慮された分析チャンバ内雰囲気の下での前記標準試料に対する実測X線強度とから、元素毎に分析チャンバ内の雰囲気に依存しない元素感度を算出し記憶しておく元素感度格納手段と、 c)未知試料の測定時の分析チャンバ内の雰囲気に応じたX線の減衰を考慮した理論X線強度を算出する第2の理論強度算出手段と、 d)第2の理論強度算出手段により算出された理論X線強度と、その理論X線強度算出時に考慮された分析チャンバ内雰囲気の下での前記未知試料に対する実測X線強度と、前記元素感度格納手段に格納されている元素感度とから、その未知試料に含まれる各成分の含有率を推定する定量処理手段と、を備えることを特徴とする蛍光X線分析用データ処理装置。

IPC (1件)：

G01N 23/223 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G01N 23/223

引用特許：

審査官引用 (8件)

特公平7-018823
特許第2645227号
特許第2671293号

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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