特許
J-GLOBAL ID：201103091268581242

フローセンサ故障判定装置及びその方法

発明者：
小田 清志

小田 清志 について

, 
山浦 路明

山浦 路明 について


出願人/特許権者：
矢崎総業株式会社

矢崎総業株式会社 について


代理人 (1件)： 三好 秀和 (外7名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-128778
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321107
特許番号：特許第3527657号
出願日： 1999年05月10日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 流体を加熱するヒータ、このヒータに対して前記流体の上流側に配置され、前記流体の温度を検出する上流側サーモパイル、及び前記ヒータに対して前記流体の下流側に配置され、前記流体の温度を検出する下流側サーモパイルを有するフローセンサと、前記上流側サーモパイル及び前記下流側サーモパイルのそれぞれで検出された熱起電力信号の差値に基づき流体の流速または流量を計測する計測手段と、前記上流側サーモパイル及び前記下流側サーモパイルのそれぞれの抵抗値を測定する抵抗測定手段と、この抵抗測定手段で測定された抵抗値に基づき前記フローセンサの故障の有無を判定する故障判定手段と、前記上流側サーモパイル及び前記下流側サーモパイルの両方に等しい電流を流す定電流駆動手段と、前記下流側サーモパイルの両端電極間の電圧を測定する第1の電圧測定手段と、前記上流側サーモパイルの両端電極間の電圧を測定する第2の電圧測定手段とを備え、前記抵抗測定手段は、前記第1の電圧測定手段で得られた電圧に基づき前記下流側サーモパイルの抵抗値を測定し、前記第2の電圧測定手段で得られた電圧に基づき前記上流側サーモパイルの抵抗値を測定することを特徴とするフローセンサ故障判定装置。
IPC (2件)：
G01F 1/696 ,  G01F 1/68
FI (2件)：
G01F 1/68 B ,  G01F 1/68 201 A
引用特許：
審査官引用 (4件)
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