特許
J-GLOBAL ID：201103091520515827
切削装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 尚純
, 奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-215950
公開番号（公開出願番号）：特開2011-066233
出願日： 2009年09月17日
公開日（公表日）： 2011年03月31日
要約：
【課題】撮像手段によって撮像された切削溝の状態を正確に判定することができる機能を備えた切削装置を提供する。【解決手段】チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段と、光照射器によって切削溝に光を照射して切削溝を撮像する撮像手段と、撮像された切削溝の状態を判定する制御手段と、加工条件を入力する入力手段と、表示手段と、警報手段とを具備する切削装置であって、制御手段は、入力された加工条件および撮像された切削溝の状態に基づいて切削溝が適正か否かを判定する切削溝判定工程と、切削溝が適正でないと判定した場合には、光照射器の光量を所定範囲において調整しつつ適正であると判定したときに光量を修正光量として変更し、光照射器の光量を所定範囲において調整しても切削溝が適正でないと判定した場合には警報手段を作動するとともに表示手段にエラーメッセージを表示する光量学習工程を実行する【選択図】図2
請求項（抜粋）：
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段と、該切削手段の切削ブレードによって切削された切削溝に光を照射する光照射器を備え該光照射器によって切削溝に光を照射して切削溝を撮像する撮像手段と、該撮像手段によって撮像された切削溝の状態を判定する制御手段と、該制御手段に加工条件を入力する入力手段と、該撮像手段によって撮像された切削溝の状態等を表示する表示手段と、警報手段と、を具備する切削装置において、
該制御手段は、該入力手段によって入力された加工条件および該撮像手段によって撮像された切削溝の状態に基づいて切削溝が適正か否かを判定する切削溝判定工程と、
該切削溝判定工程において切削溝が適正でないと判定した場合には、該撮像手段の該光照射器の光量を所定範囲において調整しつつ切削溝が適正か否かを判定し切削溝が適正であると判定した場合には適正であると判定したときに撮像した光量を修正光量として変更し、該撮像手段の該光照射器の光量を所定範囲において調整しても切削溝が適正でないと判定した場合には該警報手段を作動するとともに該表示手段にエラーメッセージを表示する光量学習工程を実行する、
ことを特徴とする切削装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/78 C
, H01L21/78 F
, G01B11/30 Z
2F065AA03
, 2F065AA12
, 2F065AA22
, 2F065AA49
, 2F065AA51
, 2F065BB03
, 2F065BB13
, 2F065CC19
, 2F065DD04
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065GG02
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL02
, 2F065NN02
, 2F065NN17
, 2F065PP03
, 2F065PP12
, 2F065PP13
, 2F065QQ23
, 2F065RR06
, 2F065SS03
, 2F065SS04
, 2F065SS09
, 2F065SS13
