特許
J-GLOBAL ID：201103091645416570
石英ガラス部材の再生方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
千明 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-178318
公開番号（公開出願番号）：特開2011-032115
出願日： 2009年07月30日
公開日（公表日）： 2011年02月17日
要約：
【課題】半導体製造工程に使用されて消耗劣化した石英ガラス部材に対し、品質の安定化と再生の合理化を図れる石英ガラス部材の再生方法を提供する。【解決手段】消耗または汚染劣化した石英ガラス部材の受入検査後、石英ガラス部材に蛍光作用を奏する所定波長の光線を照射し、該石英ガラス部材とデポとの蛍光色の差により汚染劣化状況を検査し、前記石英ガラス部材の洗浄方法を決定する。洗浄後、デポの残留を検査して火炎処理加工可能とされた石英ガラス部材に対し、該石英ガラス部材の消耗劣化部の消耗劣化状況に応じて、消耗劣化部と非消耗劣化部とを分離し、非消耗劣化部に消耗劣化部に代わる新規材料を溶着し一体化して再生し、または分離しないで消耗劣化部を修復して再生する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
消耗または汚染劣化した石英ガラス部材の受入検査後、前記石英ガラス部材を洗浄してデポを除去し、汚染劣化部を修復して再生し、または消耗若しくは汚染劣化状況に応じて前記洗浄後の石英ガラス部材を火炎処理加工し、消耗または汚染劣化部を修復して再生する石英ガラス部材の再生方法において、前記受入検査後の石英ガラス部材に蛍光作用を奏する所定波長の光線を照射し、該石英ガラス部材とデポとの蛍光色の差により汚染劣化状況を検査し、前記石英ガラス部材の洗浄方法を決定することを特徴とする石英ガラス部材の再生方法。
IPC (4件)：
C03B 20/00
, C03B 23/20
, B09B 5/00
, B09B 3/00
C03B20/00 K
, C03B20/00 E
, C03B23/20
, B09B5/00 Z
, B09B3/00 303Z
4D004AA18
, 4D004AC04
, 4D004CA01
, 4D004CA22
, 4D004CC01
, 4D004CC02
, 4D004CC11
, 4G014AH00
, 5F004AA15
