特許
J-GLOBAL ID：200903048442907216
石英ガラス製治具の再生方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 詔二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-132925
公開番号（公開出願番号）：特開2006-306675
出願日： 2005年04月28日
公開日（公表日）： 2006年11月09日
要約：
【課題】 半導体製造工程を経た石英ガラス製治具から、表面付着不純物と内部拡散不純物を完全除去した後、加工修理を施し、さらに加工工程での汚染も除去して、石英ガラス製治具及びドープ石英ガラス製治具を再生する技術を提供する。【解決手段】 使用後の石英ガラス製治具を、ハロゲン元素を含有するガス雰囲気で所定温度以上の温度域で純化処理する純化処理工程を含み、当該純化処理工程において前記石英ガラス製治具から不純物を除去するようにした。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
石英ガラス製治具を、ハロゲン元素を含有するガス雰囲気で所定温度以上の温度域で純化処理する純化処理工程を含み、当該純化処理工程において前記石英ガラス製治具から不純物を除去することを特徴とする石英ガラス製治具の再生方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C03B32/00
, H01L21/302 101G
4G015EA04
, 5F004BB29
, 5F004DA29
出願人引用 (1件)
審査官引用 (8件)
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