特許
J-GLOBAL ID：201103091879931230
電気機械格子装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉田 研二
, 石田 純
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-359868
公開番号（公開出願番号）：特開2000-180739
特許番号：特許第4519968号
出願日： 1999年12月17日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】入射光ビームを変調する機械格子装置を製造する方法であって、
基板上の電導層を覆う保護層の上に、上部表面を有するスペーサ層を設けるステップと、
前記スペーサ層を完全に貫通するチャンネルを乾式エッチングするステップと、
少なくとも前記スペーサ層と同じ厚さの犠牲層を蒸着するステップと、
前記蒸着した犠牲層を、化学機械的に研磨し、前記スペーサ層の上部表面と光学的に共面にするステップと、
前記チャンネルの範囲を完全に覆うように伸張性のあるリボン層を設けるステップと、
前記リボン層上に格子形状にパターン化された反射特性を有する電導層を設けるステップと、
前記反射特性を有する電導層のパターンを前記リボン層に転写し前記リボン層を完全に貫通して乾式エッチングするステップと、
前記チャンネルから前記犠牲層を完全に除去するステップと、
を含むことを特徴とする入射光ビームを変調する機械格子装置の製造方法。
IPC (2件)：
G02B 26/08 ( 200 6.01)
, G02B 5/18 ( 200 6.01)
