マイクロフローセンサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：瀧野秀雄 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-111043
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304584
特許番号：特許第3470881号
出願日： 1999年04月19日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】計測対象流体の気流中に配設されるマイクロヒータの上流側及び下流側のそれぞれに対称的に配置される2個の温度センサからなる対温度センサを少なくとも二組備え、上記各対温度センサを各組毎に上記マイクロヒータからの距離が各々異なるように配置してなり、上記少なくとも二組の対温度センサが、上記マイクロヒータに近い対温度センサほど、上記マイクロヒータから離れた対温度センサよりも、上記計測対象流体からの熱量に対する上記各対温度センサ感温部の温度上昇感度が高い温度センサで構成されていることを特徴とするマイクロフローセンサ。

IPC (2件)：