液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置並びにマイクロアクチュエータ、画像形成装置、液滴を吐出する装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲元富保
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-145812
公開番号（公開出願番号）：特開2001-322273
特許番号：特許第4275291号
出願日： 2000年05月18日
公開日（公表日）： 2001年11月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】液滴を吐出するノズルに連通している液室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極と、前記振動板を静電気力で変形変位させて前記ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板の電極側表面に凸部が形成され、前記振動板に対向する側には、平坦な基板面に、前記電極と同じ高さで、前記振動板の凸部が当接する当接部が設けられ、前記当接部は、前記基板面上に形成された前記電極と前記電極上に形成された絶縁膜との層に前記絶縁膜とともに前記電極を除いて形成された溝により、前記電極に対して電気的に絶縁されて形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。

IPC (3件)：