高純度水の製造装置及び高純度水の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：重野剛
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-295752
公開番号（公開出願番号）：特開2001-113137
特許番号：特許第3593932号
出願日： 1999年10月18日
公開日（公表日）： 2001年04月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】逆浸透膜装置と該逆浸透膜装置の後段に設けられた第1の電気脱イオン装置と、該第1の電気脱イオン装置の後段に設けられた第2の電気脱イオン装置とを有する高純度水の製造装置であって、該第1の電気脱イオン装置と第2の電気脱イオン装置との間にアニオン交換装置を有することを特徴とする高純度水の製造装置。

IPC (4件)：