光加工機及び光加工方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高梨幸雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-289414
公開番号（公開出願番号）：特開2001-108936
特許番号：特許第3576892号
出願日： 1999年10月12日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光源手段からのコヒーレント光束でマスク上のパタンを照明し、該マスク上のパタンを投影レンズで加工物上に投影して該加工物をアブレーション作用で光加工する光加工機において、該マスクは複数の開口を一定の周期で配列した開口パタンを有し、該開口パタンは1つおきに通過する光に対してλ/2の位相差を与えていることを特徴とする光加工機。

IPC (4件)：