特許
J-GLOBAL ID：201103092974597301
弾性表面波装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮▼崎▲ 主税
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-290661
公開番号（公開出願番号）：特開2002-100952
特許番号：特許第3412611号
出願日： 2000年09月25日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 伝搬方向の異方性指数γが、γ<-1である弾性表面波が励振される圧電基板と、前記圧電基板上に形成されており、Alを主成分とする複数本の電極指と、第1,第2のバスバー電極とを有する少なくとも1つの櫛形電極とを備え、前記弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な方向に表面波のエネルギーが閉じ込められる弾性表面波装置であって、前記弾性表面波の波長をλとしたときに、前記電極指の膜厚が0.04λ以上であり、かつ、前記第1,第2のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされており、前記第1,第2のバスバー電極の一部が複数の電極膜を積層した多層構造を有し、それによってバスバー電極の一部が前記電極指の厚みよりも厚くされており、前記多層構造を有する前記バスバー電極において、最下層の電極膜におけるバスバー電極と電極指との境界部分と、Alからなる2層目の電極膜の電極指側の端縁との間隔をg(但し、g>0)、該2層目の電極膜の膜厚をM、さらに、g及びMを弾性表面波の波長λの整数倍で表したときに、M≧0.159g-0.094の範囲にあることを特徴とする、弾性表面波装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H03H 9/145 D
, H03H 9/145 C
, H03H 9/145 Z
, H03H 9/25 C
