光ディスクの製造方法及びスパッタ装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：高野明近 , 安田啓之 , 岩野進
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-061733
公開番号（公開出願番号）：特開2001-126325
特許番号：特許第3986232号
出願日： 2000年03月07日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光ディスクの製造過程で、情報記録面から情報の再生あるいは記録再生を行うための金属膜を形成する工程において、前記金属膜を形成するのに使用するスパッタ装置であって、予め基板内周部を遮蔽する遮蔽部材が搭載されたスパッタ装置において、前記遮蔽部材に半径方向へ摺動可能な突出部材が内蔵され、該突出部材が所定の制御信号により凹凸パターンを為して、所定の遮蔽パターンを形成することを特徴とするスパッタ装置。

IPC (2件)：