外観検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：村上智司 , 田中健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-116044
公開番号（公開出願番号）：特開2011-242319
出願日： 2010年05月20日
公開日（公表日）： 2011年12月01日
要約：

【課題】光切断法を用いた外観検査装置において、エリアセンサカメラのシャッタ速度を速め、高精度な検査を実現することができる外観検査装置を提供する。【解決手段】検査対象物を搬送する搬送手段10と、検査対象物Kの表面形状を検査する表面形状検査手段とを備える。表面形状検査手段は、帯状のスリット光検査対象物Kの表面に照射するスリット光照射部23と、スリット光の画像を撮像するエリアセンサカメラ22と、スリット光の反射光を、搬送方向下流側から受光してエリアセンサカメラ22に導く第1光学機構30、及び上流側から受光してエリアセンサカメラ22に導く第2光学機構40と、エリアセンサカメラ22により撮像された2つの画像を基に、検査対象物K表面の適否を判定する形状判定部とを備える。第1光学機構30及び第2光学機構40の各光学経路は、各反射光を、エリアセンサカメラ22に横並びで結像させる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

所定の搬送面に沿って検査対象物を搬送する搬送手段と、該搬送手段によって搬送される前記検査対象物の表面形状を検査する表面形状検査手段とを備えた外観検査装置であって、前記表面形状検査手段は、前記搬送手段の近傍に配設され、帯状のスリット光を、前記搬送面に対して垂直に、且つその照射ラインが前記検査対象物の搬送方向と直交するように、前記検査対象物表面に照射するスリット光照射部と、前記検査対象物表面に照射されたスリット光の画像を撮像するエリアセンサカメラと、前記検査対象物表面に照射されたスリット光の反射光を、前記検査対象物の搬送方向に沿った下流側から受光して前記エリアセンサカメラに導く光学経路を有する第1光学機構及び、前記反射光を前記搬送方向に沿った上流側から受光して前記エリアセンサカメラに導く光学経路を有する第2光学機構と、前記エリアセンサカメラにより撮像された画像を基に、前記検査対象物表面の形状特徴を認識して該形状に関する適否を判定する形状判定部とを備えてなり、前記第1光学機構及び第2光学機構の各光学経路は、前記各反射光を、前記エリアセンサカメラの結像部において横並びで結像させる経路となっていることを特徴とする外観検査装置。

IPC (1件)：

G01N 21/85

FI (1件)：

G01N21/85 A

Fターム (11件)：

2G051AA02 , 2G051AB05 , 2G051AB07 , 2G051BB11 , 2G051BC06 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051DA06 , 2G051EA08 , 2G051EA12 , 2G051EA16

引用特許：

審査官引用 (3件)

外観検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-241540 出願人：第一実業ビスウィル株式会社
はんだ印刷装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-106990 出願人：株式会社ルネサステクノロジ, 株式会社ルネサス東日本セミコンダクタ
青果物の光沢検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-296180 出願人：株式会社ニレコ

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