特許

J-GLOBAL ID：200903001669557576

はんだ印刷装置

発明者： 渡部 典生
出願人/特許権者： 株式会社ルネサステクノロジ ,  株式会社ルネサス東日本セミコンダクタ
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-106990
公開番号（公開出願番号）：特開2004-317126
出願日： 2003年04月10日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】容易かつ低コストで実現可能な3次元測定機能を備え、更に2次元測定機能との兼用も可能にするはんだ印刷装置を提供する。【解決手段】ドーム照明装置70内に、2次元測定用の光照射部71,72と3次元測定用のスリット光照射部43を設ける。2次元測定の際は、光照射部71又は72から、基板39やクリームはんだ40,41,42を含む被測定物44に対して光を照射し、その反射光をエリアセンサ60で撮像する。3次元測定の際は、スリット光照射部43から、被測定物44に対してスリット光32を照射し、その反射光が被測定物44の高さに応じて、エリアセンサ60内のラインセンサ1〜15で撮像される。【選択図】 図10

請求項（抜粋）：

被測定物に光を照射するドーム照明装置と、 被測定物からの反射光を受光するレンズおよびエリアセンサを有するはんだ印刷装置であって、 前記ドーム照明装置は、2次元測定用の光を照射する光照射部と、3次元測定用のスリット光を照射するスリット光照射部を有することを特徴とするはんだ印刷装置。

IPC (3件)：

G01B11/24 ,  G01N21/956 ,  H05K3/34

FI (4件)：

G01B11/24 F ,  G01N21/956 B ,  H05K3/34 505D ,  H05K3/34 512B

Fターム (35件)：

2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065AA56 ,  2F065CC26 ,  2F065FF09 ,  2F065GG17 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2G051AA65 ,  2G051AB14 ,  2G051BA20 ,  2G051BB01 ,  2G051BB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051DA06 ,  2G051DA07 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051ED11 ,  5E319AC01 ,  5E319BB05 ,  5E319CD29 ,  5E319CD53 ,  5E319GG03 ,  5E319GG15

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 3次元形状検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-102931   出願人：株式会社小松製作所
• 物体形状検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-303476   出願人：日立電子株式会社
• 形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-102752   出願人：株式会社東芝