外観検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：藤本昇 , 薬丸誠一 , 中谷寛昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-241540
公開番号（公開出願番号）：特開2010-014735
出願日： 2009年10月20日
公開日（公表日）： 2010年01月21日
要約：

【課題】撮像手段の数を少なくしながらも、高精度に検出することができる外観検査装置を提供する。【解決手段】検査対象物(C)の外観を検査する外観検査装置において、検査対象物(C)を特定方向から見たときの主検査面を撮像するように設置された撮像手段(3)と、該検査対象物(C)を前記特定方向とは異なる方向から見たときの副検査面の画像を前記撮像手段(3)に取り込むように該副検査面からの光の方向を変更する変更手段(4,5,6,7)とを備え、検査対象物(C)の副検査面から撮像手段(3)までの第1光路の光路長に検査対象物(C)の主検査面から該撮像手段(3)までの第2光路の光路長を合わせるために、該第2光路を冗長させる光路冗長手段(10,12)を備えた。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

検査対象物(C)の外観を検査する外観検査装置において、検査対象物(C)を特定方向から見たときの主検査面を撮像するように設置された撮像手段(3)と、該検査対象物(C)を前記特定方向とは異なる方向から見たときの副検査面の画像を前記撮像手段(3)に取り込むように該副検査面からの光の方向を変更する変更手段(4,5,6,7)とを備え、検査対象物(C)の副検査面から撮像手段(3)までの第1光路の光路長に検査対象物(C)の主検査面から該撮像手段(3)までの第2光路の光路長を合わせるために、該第2光路を冗長させる光路冗長手段(10,12)を備えていることを特徴とする外観検査装置。

IPC (1件)：

G01N 21/85

FI (1件)：

G01N21/85 A

Fターム (8件)：

2G051AA02 , 2G051AB02 , 2G051CA03 , 2G051CB01 , 2G051CC11 , 2G051DA06 , 2G051EA19 , 2G051FA01

引用特許：

審査官引用 (5件)

表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-255186 出願人：株式会社メガトレード
バンプIC検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-341403 出願人：日本電産トーソク株式会社
被検物の外観検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-106805 出願人：池上通信機株式会社

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