特許
J-GLOBAL ID：201103093461888331
塗布ヘッドの清浄方法および清浄装置並びにこれらを用いたカラーフィルタの製造方法および製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伴 俊光
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-065453
公開番号（公開出願番号）：特開2001-252603
特許番号：特許第4645926号
出願日： 2000年03月09日
公開日（公表日）： 2001年09月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 塗布液を吐出口から吐出させる塗布ヘッドの吐出口周辺を清浄にするための方法であって、溶剤吐出手段と気体吐出手段を塗布ヘッドの長手方向に並べて配置し、気体吐出手段から気体を噴射開始するとともに、塗布液を溶解する溶媒を溶剤吐出手段から吐出開始してから、気体吐出手段と溶剤吐出手段を塗布ヘッドの長手方向に移動し、前記塗布液を溶解する溶媒を前記塗布ヘッドの吐出口周辺に付着している付着物に接触させた直後に、塗布ヘッドの吐出口周辺部に残存している付着物及び溶媒を、気体吐出手段から噴射される気体との衝突で除去するとともに、除去された付着物と溶媒と前記気体を回収し、さらに前記溶媒と付着物との衝突位置、および塗布ヘッドの吐出口周辺に残存している付着物及び溶媒と気体との衝突位置を、塗布ヘッドの長手方向に移動させることを特徴とする、塗布ヘッドの清浄方法。
IPC (6件)：
B05D 3/10 ( 200 6.01)
, B05D 1/26 ( 200 6.01)
, B05D 7/00 ( 200 6.01)
, B05C 11/10 ( 200 6.01)
, B05C 5/02 ( 200 6.01)
, G02B 5/20 ( 200 6.01)
B05D 3/10 F
, B05D 1/26 Z
, B05D 7/00 H
, B05C 11/10
, B05C 5/02
, G02B 5/20 101
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (6件)
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