特許
J-GLOBAL ID：201103093542554411
液晶パネル用基板の貼り合わせ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長南 満輝男
, 細井 貞行
, 石渡 英房
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-331179
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131762
特許番号：特許第3542956号
出願日： 2000年10月30日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】上定盤(1)及び下定盤(2)に対して夫々着脱自在に保持された二枚の基板(A,B)を、上定盤(1)と下定盤(2)との間に区画形成された真空な閉空間(S)内で重ね合わせ、位置決め手段(8)により相対的にXYθ方向へ調整移動して両基板(A,B)のアライメントを行い、更に両基板(A,B)の内外に生じる気圧差で所定のギャップまで潰す液晶パネル用基板の貼り合わせ装置において、前記上定盤(1)及び下定盤(2)の対向面に設けられた基板(A,B)を移動不能に保持する保持手段(3)と、上定盤(1)及び下定盤(2)の対向する周縁部(1a,2a)間の密閉状態を維持したまま相対的にXYθ方向へ移動自在に支持する移動シール手段(4)と、上定盤(1)及び下定盤(2)を相対的に接近移動して、これら上定盤(1)及び下定盤(2)の間に両基板(A,B)が囲まれるように閉空間(S)を区画形成すると共に、両基板(A,B)を所定間隔まで接近させる加圧手段(5,7)と、上記閉空間(S)内の気体を出し入れして所定の真空度にする吸気手段(6)と、上記加圧手段(5,7)の作動状態で、上定盤(1)及び下定盤(2)を相対的にXYθ方向へ調整移動させるための閉空間(S)外に配設した位置決め手段(8)とを備え、両基板(A,B)を囲むように環状に設けられた移動シール手段(4)の移動ブロック(4a)と上定盤(1)をXYθ方向へ一体的に連結させ、この移動ブロック(4a)の上面には上定盤(1)の周縁部(1a)と密接して圧縮変形可能な環状シール材(4b)を装着し、移動ブロック(4a)の下面には下定盤(2)の周縁部(2a)と常時接触する駆動真空シール(4c)を装着したことを特徴とする液晶パネル用基板の貼り合わせ装置。
IPC (3件)：
G02F 1/1339
, G02F 1/13
, G09F 9/00
G02F 1/1339 505
, G02F 1/13 101
, G09F 9/00 338
