特許
J-GLOBAL ID:201103094360175969

絶縁放熱基板

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西教 圭一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-086331
公開番号(公開出願番号):特開2011-222551
出願日: 2010年04月02日
公開日(公表日): 2011年11月04日
要約:
【課題】 熱伝導性が良好で、かつ信頼性が向上した絶縁放熱基板を提供する。 【解決手段】 絶縁放熱基板1は、熱伝導基板2、絶縁膜3、接合層4および回路板5を備える。絶縁放熱基板1は、熱伝導基板2の一方側の主面に絶縁膜3が設けられ、この絶縁膜3の熱伝導基板2とは反対側に、接合層4が設けられる。回路板5は、接合層4を介して絶縁膜3に接合される。絶縁膜3の厚みは100μm以下であり、絶縁膜3の接合層4側には、複数の凸部3aが形成される。この凸部3aは、絶縁膜3の厚み方向に垂直な仮想平面に対して凸に湾曲した曲面状の表面を有しており、仮想平面上で一方向に延び、かつ一方向と厚み方向の2方向に垂直な他方向に周期的に形成される。【選択図】 図1A
請求項(抜粋):
金属で構成される熱伝導基板と、 該熱伝導基板の一方の主面の少なくとも一部に設けられ、厚みが100μm以下の絶縁膜と、 該絶縁膜の前記熱伝導基板とは反対の面に設けられ、接合材料で構成される接合層と、 該接合層によって前記絶縁膜に接合され、金属で構成される回路板と、を備え、 前記絶縁膜は、前記接合層側に形成される、厚み方向に垂直な仮想平面に対して凸に湾曲した曲面状の表面を有する複数の凸部であって、前記仮想平面上で一方向に延び、かつ前記一方向と前記厚み方向の2方向に垂直な他方向に周期的に形成される凸部を有することを特徴とする絶縁放熱基板。
IPC (1件):
H01L 23/36
FI (1件):
H01L23/36 C
Fターム (9件):
5F136BB05 ,  5F136FA02 ,  5F136FA03 ,  5F136FA04 ,  5F136FA06 ,  5F136FA14 ,  5F136FA16 ,  5F136FA75 ,  5F136GA02
引用特許:
審査官引用 (6件)
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