電気アクチュエータ、インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木均
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-245185
公開番号（公開出願番号）：特開2002-052711
特許番号：特許第4245789号
出願日： 2000年08月11日
公開日（公表日）： 2002年02月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】底面及び該底面から立設して形成された少なくとも2つの外壁部を有する基板と、前記基板の前記底面上に形成される個別電極と、前記外壁部の1つに形成され、前記個別電極への駆動電圧の印加により発生する静電力により変形する振動板と、前記個別電極に接続され、当該接続箇所側の前記外壁部の内側面から外側面に沿って這いまわされて前記基板の裏面まで至る電極パッドと、を備え、前記電極パッドは、前記個別電極に駆動電圧を印加する駆動電源回路に、当該電極パッドの外側面を覆われるように接続されること特徴とする電気アクチュエータ。

IPC (3件)：