特許

J-GLOBAL ID：201103094815583157

透明物質の接合方法並びに接合された石英ガラス板及びそれを用いた装置

発明者： 小貫 英雄
出願人/特許権者： 小貫 英雄
代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-397799
公開番号（公開出願番号）：特開2003-201153
特許番号：特許第3429752号
出願日： 2001年12月27日
公開日（公表日）： 2003年07月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 少なくとも1方が紫外光に対して透明な媒質からなる2つの物質の間にアルコキシドを存在させ、当該2物質の間隙のむらが少なくなり密着性がよくなるように外側から機械的圧力を加え、紫外光の吸収を防止するために窒素ガスまたは不活性ガス雰囲気を用い、かつ当該アルコキシド部分に200nmより短波長の紫外光を照射することにより、当該2物質を接合することを特徴とする透明物質の接合方法。

IPC (4件)：

C03C 27/10 ,  B08B 7/00 ,  G02B 1/10 ,  H01L 21/304 645

FI (4件)：

C03C 27/10 A ,  B08B 7/00 ,  H01L 21/304 645 D ,  G02B 1/10 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 偏光子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-103915   出願人：工業技術院長, 小貫英雄, 齊藤一朗
• 配向膜の形成方法および露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-090736   出願人：工業技術院長, 小貫英雄, ランテクニカルサービス株式会社
• 表面処理方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-050633   出願人：浜松ホトニクス株式会社