特許
J-GLOBAL ID：200903019871855380
配向膜の形成方法および露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
大垣 孝 (外1名)
, 大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-090736
公開番号（公開出願番号）：特開平10-282499
出願日： 1997年04月09日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：
【要約】【課題】 偏光による露光が可能な露光装置を提供する。【解決手段】 光源11と、該光源11からの光の入射角がブルースター角になるように配置された平行平面板群G1〜Gnと、該平行平面板群G1〜Gnの反射光路上または透過光路上に配置された被露光物設置台19とを具える。
請求項（抜粋）：
偏光を照射するとその部分が液晶に対する配向膜としての機能を示すようになる材料に、偏光を照射して、配向膜を形成する方法において、平行平面板を光源からの光の入射角がブルースター角になるように配置し、該平行平面板の反射光または透過光を前記偏光として用いることを特徴とする配向膜の形成方法。
IPC (2件)：
G02F 1/1337
, H01L 21/027
G02F 1/1337
, H01L 21/30 515 D
