特許
J-GLOBAL ID:201103094882876231

マイケルソン干渉計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 松元 洋 ,  光石 俊郎 ,  田中 康幸
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-060178
公開番号(公開出願番号):特開2001-249048
特許番号:特許第3547048号
出願日: 2000年03月06日
公開日(公表日): 2001年09月14日
請求項(抜粋):
【請求項1】第1プリズム柱体(11)と、第2プリズム柱体(12)と、第3プリズム柱体(13)と、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタ(14)と、前記第3プリズム柱体(13)と前記第1及び第2プリズム柱体(11,12)との屈折率を整合する屈折率整合手段(15)と、光線入射手段と光検出手段とを備え、前記第1プリズム柱体(11)は、前記光線入射手段からの平行光が入射される光線入射面(16)と、この光線入射面(16)と同一平面上の第1垂直反射面(17)と、前記ビームスプリッタ(14)に隣接し、この光線入射面(16)から入射した光線の光路上に配置される第1平面(18)と、前記ビームスプリッタ(14)から反射される光線の光路上に配置される第2平面(19)とを有し、前記第2プリズム柱体(12)は、前記第1平面(18)に沿って前記ビームスプリッタ(14)に対面する位置に配置される第3平面(110)と、前記ビームスプリッタ(14)を透過する光線の光路上で且つ前記第2平面(19)の延長上に配置される第4平面(111)と、光検出手段を設置する位置に配置される光線出射面(112)と、この光線出射面(112)と同一平面上の第2垂直反射面(113)とを有し、前記第3プリズム柱体(13)は、前記第1プリズム柱体(11)の前記第2平面(19)及び前記第2プリズム柱体(12)の前記第4平面(111)と対面する位置に配置される第5平面(114)と、前記第1平面(18)から前記第2平面(19)及び前記第5平面(114)を介して送られて来る光線をその光路と平行且つ反対の方向に反射するように配置され、且つお互いに垂直である第6平面(115)及び第7平面(116)と、前記第3平面(110)から前記第4平面(111)及び前記第5平面(114)を介して送られて来る光線をその光路と平行且つ反対の方向に反射するように配置され、且つお互いに垂直である第8平面(117)及び第9平面(118)とを有し、前記屈折率整合手段(15)は、前記第2平面(19)及び前記第4平面(111)と、前記第5平面(114)の間に介在され、前記光線入射手段から前記光線入射面(16)を透過して前記第1プリズム柱体(11)に入射する入射光線(119)のうち、前記ビームスプリッタ(14)で分割され反射された第1の光線(120)が、前記第2平面(19)と前記屈折率整合手段(15)と前記第5平面(114)を透過して前記第3プリズム柱体(13)に入り、前記第6平面(115)と前記第7平面(116)で反射され、前記第1の光線(120)と平行で逆向きの光線(121)となって、前記第5平面(114)と前記屈折率整合手段(15)と前記第4平面(111)を透過して前記第2プリズム柱体(12)に入り、前記第2垂直反射面(113)で反射され、再び前記光線(121)と同一の光路に沿って前記第4平面(111)と前記屈折率整合手段(15)と前記第5平面(114)を透過して前記第3プリズム柱体(13)に入り、前記第7平面(116)と前記第6平面(115)で反射され、前記第5平面(114)と前記屈折率整合手段(15)と前記第2平面(19)を透過して前記第1プリズム柱体(11)に入り、前記ビームスプリッタ(14)へ向かい、前記入射光線(119)のうち、前記ビームスプリッタ(14)で分割され透過された第2の光線(122)が、前記第4平面(111)と前記屈折率整合手段(15)と前記第5平面(114)を透過して前記第3プリズム柱体(13)に入り、前記第8平面(117)と前記第9平面(118)で反射され、前記第2の光線(122)と平行で逆向きの光線(123)となって、前記第5平面(114)と前記屈折率整合手段(15)と前記第2平面(19)を透過して前記第1プリズム柱体(11)に入り、前記第1垂直反射面(17)で反射され、再び前記光線(123)と同一の光路に沿って前記第2平面(19)と前記屈折率整合手段(15)と前記第5平面(114)を透過して前記第3プリズム柱体(13)に入り、前記第9平面(118)と前記第8平面(117)で反射され、前記第5平面(114)と前記屈折率整合手段(15)と前記第4平面(111)を透過して前記第2プリズム柱体(12)に入り、前記ビームスプリッタ(14)へ向かい、前記ビームスプリッタ(14)へ戻ってきた両方の前記第1の光線(120)及び前記第2の光線(122)が合わされて干渉し、平行光線(124)として前記光線出射面(112)を透過して前記光検出手段へ出射するように光路が構成され、前記第1プリズム柱体(11)及び前記第2プリズム柱体(12)と、前記第3プリズム柱体(13)は、前記第2平面(19)及び前記第4平面(111)と、前記第5平面(114)に沿って、光線の光路長変更方向に相対的に移動自在としたことを特徴とするマイケルソン干渉計。
IPC (2件):
G01J 3/45 ,  G01B 9/02
FI (2件):
G01J 3/45 ,  G01B 9/02
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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