特許
J-GLOBAL ID:201103094942155245
光導波路デバイス
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
笹島 富二雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-150518
公開番号(公開出願番号):特開2011-007972
出願日: 2009年06月25日
公開日(公表日): 2011年01月13日
要約:
【課題】支持部材と基板との熱膨張差に起因した応力により生じる光導波路の動作点変動を抑制する。【解決手段】導波部22の伸延方向D1に交差する交差方向D2において、支持部材13による応力の応力分布中心に近い方にある接地電極25の架橋部25c-inと、応力分布中心から遠い方にある接地電極25の架橋部25c-outとが、異なる形状で形成されている、光導波路デバイス10とする。接地電極25の構造を工夫することにより、支持部材13から基板11にかかる応力で生じる、複数の導波部22間の応力特性の相異を打ち消すような応力を、接地電極25から基板11へかける。【選択図】図1
請求項(抜粋):
支持部材に載置された、電気光学効果を有する基板と、
前記基板に、前記基板の長さ方向へ伸延して形成された光導波路と、
前記基板上に形成され、前記光導波路に対し電界を作用させる電極と、
を含んで構成され、
前記光導波路は、光が入力される入力導波部と、前記入力導波部に入力された光を分岐して伝搬する2つの並行する導波路を備えた導波部と、前記導波部を伝搬してきた分岐光を結合する出力導波部と、を有し、
前記電極は、前記導波部ごとに、一方の前記導波路に重なる部分をもつ信号電極と、他方の前記導波路に重なる部分をもつ接地電極と、を備え、
前記接地電極が、前記導波部の伸延方向に交差する交差方向において、前記導波路に重なる幅狭部と、前記幅狭部よりも幅の広い幅広部と、に分割された部分を有し、前記幅狭部と前記幅広部との間を架橋部により連結してあり、
前記接地電極の架橋部の形状が、複数の前記接地電極間で異なる、
光導波路デバイス。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (26件):
2H079AA02
, 2H079AA12
, 2H079BA03
, 2H079CA04
, 2H079DA03
, 2H079EA05
, 2H079EB04
, 2H079GA01
, 2H079HA23
, 2H147AB02
, 2H147AC01
, 2H147BA05
, 2H147BD02
, 2H147BE01
, 2H147BE13
, 2H147BG07
, 2H147BG14
, 2H147BG19
, 2H147DA12
, 2H147EA05A
, 2H147EA05B
, 2H147EA05C
, 2H147GA01
, 2H147GA12
, 2H147GA19
, 2H147GA30
引用特許:
審査官引用 (3件)
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光変調器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-224778
出願人:富士通株式会社
-
光デバイス
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-266862
出願人:富士通株式会社
-
光変調器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-127983
出願人:アンリツ株式会社
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