特許
J-GLOBAL ID:200903068427361453
光デバイス
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
真田 有
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-266862
公開番号(公開出願番号):特開2006-084537
出願日: 2004年09月14日
公開日(公表日): 2006年03月30日
要約:
【課題】 接地電極を構成する金属膜と基板との間の熱膨張差によってリッジ部分にかかる応力を低減させる光デバイスを提供する。【解決手段】 他の溝6-3の開口部面積に対する該他の溝6-3位置に形成される接地電極部分5B-2の体積の比が、該他の溝6-3位置以外の位置に形成される接地電極部分5B-1,5B-3にかかる面積に対する当該接地電極部分5B-1,5B-3の体積の比よりも小さくなるように構成する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
電気光学効果を有する基板と、
該基板上に形成される2本の溝に挟まれてなる第1リッジ部と、をそなえるとともに
該第1リッジ部に隣接する該第2リッジ部が、該2本の溝のうちの1本とともに、当該第2リッジ部の外側に形成された他の溝に挟まれて構成され、
かつ、該第1リッジ部内とともに、該第2リッジ部内にそれぞれ形成された光導波路と、
該第1リッジ部上に形成された信号電極と、
該基板上において、該信号電極に対して所定間隔のギャップをあけて該信号電極を挟むように設けられて、該信号電極に対する基準電位を与えるための接地電極と、をそなえ、
該他の溝の開口部面積に対する該他の溝位置に形成される接地電極部分の体積の比が、該他の溝位置以外の位置に形成される接地電極部分にかかる面積に対する当該接地電極部分の体積の比よりも小さくなるように構成されたことを特徴とする、光デバイス。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (10件):
2H047NA02
, 2H079AA02
, 2H079AA12
, 2H079BA01
, 2H079BA03
, 2H079CA05
, 2H079DA03
, 2H079EA05
, 2H079EB02
, 2H079EB04
引用特許:
出願人引用 (4件)
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特開平3-200924号公報
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光制御素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-243013
出願人:日本電信電話株式会社
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特開平4-123018号公報
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電子-光学変調器とその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-166997
出願人:ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド
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審査官引用 (7件)
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光変調器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-086249
出願人:住友大阪セメント株式会社
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光制御素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-216792
出願人:日本電信電話株式会社
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光制御デバイス
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-025822
出願人:日本電気株式会社
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特開昭63-147145
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光導波路デバイス
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-281782
出願人:エフ・ディ-・ケイ株式会社
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光制御素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-243013
出願人:日本電信電話株式会社
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特開平3-081742
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