集積型光起電力装置及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鳥居洋
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-171037
公開番号（公開出願番号）：特開2001-352088
特許番号：特許第4052782号
出願日： 2000年06月07日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】支持基板、透明導電酸化膜、光活性層となる半導体薄膜及び裏面電極が順次積層して形成され、形成途中の各段階において支持基板以外の各層を複数の領域に分離することで、単位素子が複数個直列に接続された集積型光起電力装置において、上記透明導電酸化膜は複数の領域に分割されており、上記半導体薄膜は、上記透明導電酸化膜の分離加工部を含んで当該透明導電酸化膜上に形成されており、上記透明導電酸化膜の分離加工端部付近の酸素含有濃度が他の透明導電酸化膜の領域の酸素含有濃度より高く形成されていることを特徴とする集積型光起電力装置。

IPC (1件)：