特許

J-GLOBAL ID：201103095043668611

加圧装置、加圧方法およびデバイス

発明者： 山内 朗
出願人/特許権者： ボンドテック株式会社
代理人 (1件)： 中島 了
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-030439
公開番号（公開出願番号）：特開2011-051328
出願日： 2010年02月15日
公開日（公表日）： 2011年03月17日
要約：

【課題】被加圧物の相互間の離間距離をより正確に制御することが可能な加圧技術を提供する。【解決手段】加圧装置1は、ステージ12、ヘッド22、測距センサ33、およびピエゾアクチュエータ31等を備える。ステージ12およびヘッド22は、Z方向に離間して対向するとともにZ方向に相対移動可能である。ステージ12の加圧面とヘッド22の加圧面との間には両被加圧物91,92が介装される。両被加圧物91,92はその相互間に流動可能物質層(熱硬化性樹脂等)を挟んで配置される。測距センサ33等によって、両被加圧物91,92のZ方向における相互間距離が、XY平面に平行な平面内での複数の位置(例えば3つの位置)において測定される。そして、それらの測定結果に基づいて、当該複数の位置における相互間距離がそれぞれ目標値に近づくように、ステージ12の加圧面とヘッド22の加圧面とが相対的に移動される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

加圧装置であって、 所定方向に離間して対向するとともに前記所定方向に相対移動可能な第1および第2の加圧部材と、 前記第1の加圧部材の加圧面と前記第2の加圧部材の加圧面との間に介装される第1および第2の被加圧物であって相互間に流動可能物質層を挟んで配置される第1および第2の被加圧物の前記所定方向における相互間距離を、前記所定方向を法線方向とする平面内での複数の位置において測定する測定手段と、 前記測定手段による測定結果に基づいて、前記複数の位置における前記相互間距離がそれぞれ目標値に近づくように、前記第1の加圧部材の加圧面と前記第2の加圧部材の加圧面とを相対的に移動する駆動手段と、 を備えることを特徴とする加圧装置。

IPC (6件)：

B29C 43/36 ,  H01L 21/027 ,  B81C 99/00 ,  B29C 33/20 ,  B29C 43/02 ,  B29C 43/58

FI (6件)：

B29C43/36 ,  H01L21/30 502D ,  B81C5/00 ,  B29C33/20 ,  B29C43/02 ,  B29C43/58

Fターム (24件)：

3C081AA01 ,  3C081CA37 ,  4F202CD23 ,  4F202CL02 ,  4F202CL12 ,  4F202CL42 ,  4F202CL50 ,  4F204AA36 ,  4F204AA44 ,  4F204AC05 ,  4F204AF01 ,  4F204AG05 ,  4F204AH33 ,  4F204AJ03 ,  4F204AJ06 ,  4F204AP06 ,  4F204AR07 ,  4F204FA01 ,  4F204FB01 ,  4F204FN11 ,  4F204FQ12 ,  4F204FQ40 ,  5F046AA28 ,  5F146AA28

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 光学部品製造方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-289429   出願人：株式会社東芝
• 光学素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-221998   出願人：オムロン株式会社