特許

J-GLOBAL ID：201103095429692975

ビーム整形装置

発明者： 山崎 和則
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 羽片 和夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-108980
公開番号（公開出願番号）：特開2000-305039
特許番号：特許第3781091号
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光源からの照射光を所定の断面形状及び強度で所定面上に入射させるホモジナイザーと、 前記光源と前記ホモジナイザーとの間に配置されてホモジナイザーに入射する前記照射光の広がり角を調節するアフォーカルズーム光学系と を備えることを特徴とするビーム整形装置。

IPC (4件)：

G02B 27/09 ( 200 6.01) ,  B23K 26/06 ( 200 6.01) ,  G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  H01L 21/268 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G02B 27/00 E ,  B23K 26/06 ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/268

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ビームホモジナイザ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-309243   出願人：住友重機械工業株式会社
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-225511   出願人：株式会社トプコン