特許

J-GLOBAL ID：201103095696104225

オゾン含有浄化液及びレジスト除去方法

発明者： 加藤 昌明
出願人/特許権者： クロリンエンジニアズ株式会社
代理人 (3件)： 竹沢 荘一 ,  中馬 典嗣 ,  森 浩之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-168269
公開番号（公開出願番号）：特開2000-355699
特許番号：特許第4354575号
出願日： 1999年06月15日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 オゾン含有ガスをパーフルオロカーボン溶媒に溶解させたことを特徴とするレジスト除去用オゾン含有浄化液。

IPC (2件)：

C11D 7/30 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01)

FI (2件)：

C11D 7/30 ,  H01L 21/304 647 A

引用特許：

審査官引用 (7件)

• 洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-095086   出願人：三菱電機株式会社
• 漂白・脱臭・殺菌方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-182079   出願人：株式会社白洋舎
• 洗浄方法および洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-150608   出願人：株式会社東芝, ジャパン・フィールド株式会社
• 洗浄組成物および洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-299255   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 洗浄剤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-009312   出願人：三菱重工業株式会社
• スルホキシド類含有廃水の処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-265726   出願人：日本電気株式会社
• 特開平4-191387