特許
J-GLOBAL ID:201103095908793808

混合ガスの分析装置及び混合ガスの分析方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 須田 篤 ,  楠 修二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-260883
公開番号(公開出願番号):特開2011-106911
出願日: 2009年11月16日
公開日(公表日): 2011年06月02日
要約:
【課題】複数のガスが混じり合った混合ガスの分析装置及び分析方法を提供する。【解決手段】キャリアガス流量調節用第1バルブV1と、V1に配管接続して、測定ガス注入器と保持力が小さい第1分離カラムCL1と第1弾性表面波素子BS1と第1弾性表面波測定手段M1とからなる第1分析部と、第1分析部に配管接続し、接続切り替えが可能な第2のバルブV2と、更にV2に配管接続し、保持力が大きい第2分離カラムCL2と第2弾性表面波素子BS2と第2弾性表面波測定手段M2とからなる第2分析部とを有する。あらかじめV1を用いて流量を調節したキャリアガスの一部を、CL1における保持時間が短い混合ガスの遅延時間と振幅変化とをM1によりBS1で測定した信号に基づいて、CL1を通過させずに直接CL2に導入し、かつ、CL1での保持時間が長い混合ガスがCL2に導入しないようにV2のバルブを切り替える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
複数のガスの混合ガスの分析装置において、 キャリアガス流量調節用第1バルブ(V1)と、 前記キャリアガス流量調節用第1バルブに配管接続して、測定ガス注入器と保持力が小さい第1分離カラム(CL1)と第1弾性表面波素子(BS1)と第1弾性表面波測定手段(M1)とからなる第1分析部と、 前記第1分析部に配管接続し、接続切り替えが可能な第2のバルブ(V2)と、 更に前記第2のバルブに配管接続し、保持力が大きい第2分離カラム(CL2)と第2弾性表面波素子(BS2)と第2弾性表面波測定手段(M2)とからなる第2分析部とを、 有することを特徴とする混合ガスの分析装置。
IPC (2件):
G01N 29/02 ,  G01N 30/02
FI (2件):
G01N29/02 ,  G01N30/02 A
Fターム (4件):
2G047AA01 ,  2G047BC03 ,  2G047BC14 ,  2G047CB03
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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