特許
J-GLOBAL ID：201103096561688134
光導波路の形成方法および光送受信装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤島 洋一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-086976
公開番号（公開出願番号）：特開2001-272565
特許番号：特許第4211188号
出願日： 2000年03月27日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板上に、光を伝搬可能な光導波路を形成するための方法であって、
開口部を有し、且つ、金属材料からなる成形型を前記基板上に配置する工程と、
前記基板上に配置された前記成形型の開口部に硬化性材料を充填する工程と、
前記開口部に充填された硬化性材料を硬化させる工程と、
前記硬化性材料を硬化した後に前記成形型を前記基板から取り外す工程と
を含むことを特徴とする光導波路の形成方法。
IPC (6件)：
G02B 6/13 ( 200 6.01)
, G02B 6/122 ( 200 6.01)
, G02B 6/42 ( 200 6.01)
, H01L 31/0232 ( 200 6.01)
, H01L 31/12 ( 200 6.01)
, H01S 5/022 ( 200 6.01)
G02B 6/12 M
, G02B 6/12 B
, G02B 6/42
, H01L 31/02 D
, H01L 31/12 G
, H01S 5/022
