特許

J-GLOBAL ID：201103096700279325

移載機

発明者： 福渡 一郎
出願人/特許権者： 株式会社日立プラントテクノロジー
代理人 (1件)： 森 治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-013913
公開番号（公開出願番号）：特開2002-217269
特許番号：特許第4286461号
出願日： 2001年01月23日
公開日（公表日）： 2002年08月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 両端と中間に支点を有し、一端の支点を直線状のガイドレールを移動する移動体に、他端の支点を搬器に、それぞれ軸着した1つの部材からなる主レバーと、該主レバーの2分の1の長さで、両端に支点を有し、一端の支点を前記移動体が移動する直線状のガイドレールの延長線上のフレームに軸着し、他端の支点を前記主レバーの中間位置に軸着した副レバーと、前記主レバー及び副レバー、該主レバー及び副レバーにそれぞれ平行な2本の平行リンク並びにこれらを接続する平行リンクからなり、フレーム及び搬器を接続する平行四辺形の形状をした2組の平行リンク体と、該平行リンク体の駆動装置とで構成し、平行リンク体の死点通過時に前記2組の平行リンク体の構成部材が前記直線状のガイドレールが含まれる線上に位置するようにしたことを特徴とする移載機。

IPC (6件)：

H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  B25J 9/06 ( 200 6.01) ,  B25J 19/00 ( 200 6.01) ,  B65G 49/00 ( 200 6.01) ,  B65G 49/06 ( 200 6.01) ,  B65G 49/07 ( 200 6.01)

FI (6件)：

H01L 21/68 A ,  B25J 9/06 D ,  B25J 19/00 H ,  B65G 49/00 A ,  B65G 49/06 Z ,  B65G 49/07 D

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-343585   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 搬送アーム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-179680   出願人：株式会社ジェーイーエル
• 搬送アーム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-320938   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社

審査官引用 (3件)

• 搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-343585   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 搬送アーム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-179680   出願人：株式会社ジェーイーエル
• 搬送アーム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-320938   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社