特許

J-GLOBAL ID：201103096754155540

X線トポグラフィ装置

発明者： 菊池 哲夫
出願人/特許権者： 株式会社リガク
代理人 (1件)： 横川 邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-000932
公開番号（公開出願番号）：特開2011-141148
出願日： 2010年01月06日
公開日（公表日）： 2011年07月21日
要約：

【課題】試料の径が大きくなっても、試料に対応した大面積の面状のX線検出器を、X線トポグラフの分解能を低下させること無く、使用できるようにする。また、試料の径が大きくなったことに対応して大面積の面状のX線検出器を使用することになった場合でも、X線検出部の全体形状を大きくしなくて済むようにする。【解決手段】試料11を線状のX線で走査したときに試料11で回折したX線をX線検出器28によって検出して平面的な回折像を得るX線トポグラフィ装置である。X線検出器28は試料11よりも大きい面積を有する円筒形状のイメージングプレート28であり、線状のX線の走査移動Fに関連させてイメージングプレート28を円筒形状の中心軸X0を中心としてα回転させる。円筒形状の中心軸X0は線状のX線の走査移動方向Fと直角方向に延在する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

試料を線状のX線で走査したときに当該試料で回折したX線をX線検出器によって検出して平面的な回折像を得るX線トポグラフィ装置において、 前記X線検出器は前記試料よりも大きい面積を有する円筒形状の面状X線検出器であり、 前記線状のX線の走査移動に関連させて前記面状X線検出器を前記円筒形状の中心軸を中心として回転させる検出器回転手段を有し、 前記円筒形状の中心軸は前記線状のX線の走査移動方向と直角方向に延在する ことを特徴とするX線トポグラフィ装置。

IPC (3件)：

G01N 23/207 ,  G01T 1/24 ,  G21K 4/00

FI (3件)：

G01N23/207 ,  G01T1/24 ,  G21K4/00 L

Fターム (30件)：

2G001AA01 ,  2G001BA24 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA09 ,  2G001FA06 ,  2G001GA06 ,  2G001GA13 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001HA15 ,  2G001JA06 ,  2G001JA09 ,  2G001JA11 ,  2G001JA13 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA11 ,  2G001PA12 ,  2G001QA01 ,  2G001QA02 ,  2G001SA01 ,  2G001SA10 ,  2G001SA13 ,  2G001SA17 ,  2G001SA29 ,  2G083AA03 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ05

引用特許：

審査官引用 (4件)

• X線トポグラフィック装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-177743   出願人：理学電機株式会社
• 工業用コンピュータ断層撮影装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-058723   出願人：財団法人ファインセラミックスセンター, 株式会社マックサイエンス
• 特開平3-167458
  
• X線分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-357582   出願人：株式会社リガク