特許

J-GLOBAL ID：201103096923077244

並列分流型の流体供給装置

発明者： 大見 忠弘 ,  加賀爪 哲 ,  杉山 一彦 ,  皆見 幸男 ,  西野 功二 ,  土肥 亮介 ,  米華 克典 ,  池田 信一 ,  山路 道雄
出願人/特許権者： 大見 忠弘 ,  東京エレクトロン株式会社 ,  株式会社フジキン
代理人 (1件)： 杉本 丈夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-108689
公開番号（公開出願番号）：特開2000-305630
特許番号：特許第3626874号
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】流体の圧力を調整するレギュレータと、このレギュレータから送出される流体を並列的に分流させて夫々異なる流体供給先へ供給する複数本の流体の流路と、前記夫々の流路のレギュレータ側に設けた流量制御用の熱量式マスフローコントローラと、前記熱量式各マスフローコントローラの流体流入側に設けたバルブと、前記各熱量式マスフローコントローラの流体出口側に設けたバルブと、前記各流体の通路を真空引きする真空ポンプとを備え、前記各熱量式マスフローコントローラを通して真空引きされた各通路へ夫々流体を供給する並列分流型の流体供給装置であって、前記複数本の流路の中のある流路の熱量式マスフローコントローラを動作させてその流路を流体の閉鎖状態から指令流量Qsでの流通状態に流通制御するとき、当該熱量式マスフローコントローラが流体の流通開始のときから指令流量値に至るまでに調節可能な遅延時間Δtを有するものとしたことを特徴とする並列分流型の流体供給装置。

IPC (1件)：

G05D 7/06

FI (1件)：

G05D 7/06 B

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 給水制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-088082   出願人：株式会社イナックス
• 圧力式流量制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-144722   出願人：株式会社フジキン
• 流体供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-009961   出願人：株式会社フジキン, 大見忠弘, 東京エレクトロン株式会社

審査官引用 (3件)

• 給水制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-088082   出願人：株式会社イナックス
• 圧力式流量制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-144722   出願人：株式会社フジキン
• 流体供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-009961   出願人：株式会社フジキン, 大見忠弘, 東京エレクトロン株式会社