単結晶インゴット製造装置

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：木村高久 , 小幡義之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-277257
公開番号（公開出願番号）：特開2000-169291
特許番号：特許第4431227号
出願日： 1999年09月29日
公開日（公表日）： 2000年06月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】チョクラルスキー法により製造途中の単結晶に掛合段部を形成し、当該掛合段部を利用して当該単結晶の吊り下げを行う単結晶インゴット製造装置であって、前記掛合段部を把持する把持体であって、当該掛合段部との接触点が2以上存在する把持体と、この把持体の吊り下げを行う長材と、所定の軸線回りに傾く複数個のシーソー部材の組み合わせからなり、前記複数個のシーソー部材の各所定の軸線どうしが非同軸に設定されているフレキシブル機構と、を備え、前記フレキシブル機構は、前記長材の中途に設けられるか又は前記長材の端部に設けられるか又は前記把持体と一体化されるかの何れかの形態で設けられ、また前記フレキシブル機構は、前記把持体による単結晶の把持が行われている状態を維持したままで傾くことができ、及び/または、前記長材による前記把持体の吊り下げが行われている状態を維持したままで傾くことができることを特徴とする単結晶インゴット製造装置。

IPC (2件)：

C30B 15/30 ( 200 6.01) , C30B 29/06 ( 200 6.01)

FI (2件)：

C30B 15/30 , C30B 29/06 502 F

引用特許：

出願人引用 (5件)

単結晶引上装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-232910 出願人：住友シチックス株式会社
特開昭62-288191
特開昭63-252991

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審査官引用 (5件)

単結晶引上装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-232910 出願人：住友シチックス株式会社
特開昭62-288191
特開昭63-252991

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