特許

J-GLOBAL ID：201103097198849178

シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの製造方法

発明者： 小畑 直之 ,  木村 総樹 ,  前田 功
出願人/特許権者： コバレントマテリアル株式会社
代理人 (2件)： 波多野 久 ,  関口 俊三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-377336
公開番号（公開出願番号）：特開2002-179495
特許番号：特許第4437368号
出願日： 2000年12月12日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 回転する型内に高純度石英原料粉を供給しルツボ形状体を形成して、これをアーク溶融した溶融ルツボの内表面全体を算術平均粗さ0.1μm以下かつ表面粗さのバラツキを±0.03μmに研磨処理し、この研磨面を酸水素バーナにより加熱処理し、内表面から少なくとも100μmの領域におけるCaの濃度を2.0ppm以下にすることを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの製造方法。

IPC (3件)：

C30B 29/06 ( 200 6.01) ,  C30B 15/10 ( 200 6.01) ,  C03B 20/00 ( 200 6.01)

FI (3件)：

C30B 29/06 502 B ,  C30B 15/10 ,  C03B 20/00 H

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 単結晶引上用石英ガラスルツボの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-139669   出願人：信越石英株式会社
• 特開平2-188489
  
• シリコン単結晶製造用石英ガラスるつぼおよび その製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-095551   出願人：信越石英株式会社