特許
J-GLOBAL ID:201103097200876242

立体原子顕微鏡、原子配列の立体観察方法、及び原子配列の立体写真測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 塩野入 章夫
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-233651
公開番号(公開出願番号):特開2002-139466
特許番号:特許第3905338号
出願日: 2001年08月01日
公開日(公表日): 2002年05月17日
請求項(抜粋):
【請求項1】 回転方向が異なる2つの円偏光を試料に照射する円偏光照射手段と、 照射された円偏光によって生じる円2色性の光電子前方散乱ピークで形成される形成方向を異にする光電子回折パターンを二次元的に検出する二次元光電子検出手段と、 前記両光電子回折パターンを左右の視差角の原子配列画像として形成する像形成手段とを備えることを特徴とする立体電子顕微鏡。
IPC (1件):
G01N 23/227 ( 200 6.01)
FI (1件):
G01N 23/227
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)
引用文献:
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