特許
J-GLOBAL ID：201103097310461196
光学測定用プローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
野口 繁雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-209923
公開番号（公開出願番号）：特開2001-029333
特許番号：特許第4152532号
出願日： 1999年07月23日
公開日（公表日）： 2001年02月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】中心軸上に配置され、円形で平坦な先端面をもつ第1の光学系部品と、第1の光学系部品の外側で前記中心軸を中心とする円上にリング状に配置された平坦な先端面をもつ第2の光学系部品を備え、これら両光学系部品は相対的に軸方向に摺動可能に嵌合されており、一方の光学系部品は測定対象物に測定光を投光する投光部であり、他方の光学系部品は投光された測定光による測定対象物からの出力光を受光する受光部であり、
さらに第2の光学系部品の外側に前記中心軸を中心とする円上にリング状の先端面をもち、そのリングの幅が第2の光学系部品の先端面のリングの幅よりも広く形成された外周部を備えている光学測定用プローブ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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