特許
J-GLOBAL ID：201103097672805098

走査プローブ顕微鏡チップの使用方法及び該使用方法を実施するための製品又は該使用方法によって製造される製品

発明者：
マーキン、チャド エイ.

マーキン、チャド エイ. について

, 
パイナー、リチャード

パイナー、リチャード について

, 
ホン、センフン

ホン、センフン について


出願人/特許権者：
ノースウエスタン ユニバーシティ

ノースウエスタン ユニバーシティ について


代理人 (2件)： 清水 初志 ,  橋本 一憲
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-592858
特許番号：特許第3963650号
出願日： 2000年01月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】所望のパターンを生成するためのナノリソグラフィ法であって、 基板を提供する工程と、 走査プローブ顕微鏡チップを提供する工程と、 チップをパターニング化合物で被覆する工程と、 チップの周りに、チップと基板の間を架橋するメニスカスを形成するのに十分な湿度を有する雰囲気中で、チップから基板へパターニング化合物を輸送する工程 を含む方法であり、 ここで、前記輸送する工程が、チップから基板への毛細管移動によるパターニング化合物の流れで実行される方法。
IPC (4件)：
B82B 3/00 ( 200 6.01) ,  B81C 1/00 ( 200 6.01) ,  G01N 13/16 ( 200 6.01) ,  G12B 21/02 ( 200 6.01)
FI (5件)：
B82B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  G01N 13/16 A ,  G01N 13/16 C ,  G12B 1/00 601 A
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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