特許
J-GLOBAL ID：201103098202414153
軟化点測定装置および熱伝導測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
久原 健太郎
, 内野 則彰
, 木村 信行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-187479
公開番号（公開出願番号）：特開2011-038933
出願日： 2009年08月12日
公開日（公表日）： 2011年02月24日
要約：
【課題】 発熱体を有するカンチレバーを用いて試料へ局所加熱をして試料の軟化点や熱伝導を測定する場合に、探針と試料との接触部のみの熱交換とすることで測定ポイントの周辺部に熱影響を与えなくし、接触部のみの軟化点測定および熱伝導測定を可能にした装置を提供する。【解決手段】 プローブ顕微鏡をベースとした局所の軟化点測定装置および熱伝導測定装置において、探針と試料面の環境を1/100気圧(103Pa)以下とする、あるいは探針側面を断熱材で熱逃げが1/100以下となる厚さにコートすることにより、探針側面からの熱逃げを低減し、略探針と試料面との接触部のみの熱交換となるようにした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
先端に探針を備え、その近傍に発熱部を有するカンチレバーと、発熱部への電圧印加手段と、概カンチレバーの変位を検出する変位検出手段と、試料を移動させる試料移動手段と、前記探針および前記試料を内部に載置するための真空容器と、該真空容器の真空排気手段を含み、前記発熱部を加熱することで前記探針を加熱し、試料との接触部を局所的に加熱して、カンチレバーの撓み量を検出することにより、前記試料の軟化点を測定するプローブ顕微鏡をベースとした軟化点測定装置において、前記探針と前記試料の周囲環境を1/100気圧(103Pa)以下としたことを特徴とする軟化点測定装置。
IPC (4件)：
G01N 25/04
, G01Q 60/00
, G01Q 30/16
, G01N 25/18
G01N25/04 C
, G01N13/10 141
, G01N13/10 121J
, G01N25/18 E
2G040AB09
, 2G040BA25
, 2G040CA23
, 2G040CB04
, 2G040CB14
, 2G040DA02
, 2G040DA21
, 2G040DA24
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (6件)
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