特許
J-GLOBAL ID:201103098209049787
切削装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
佐々木 功
, 川村 恭子
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-313590
公開番号(公開出願番号):特開2001-135593
特許番号:特許第4427143号
出願日: 1999年11月04日
公開日(公表日): 2001年05月18日
請求項(抜粋):
【請求項1】 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物に加工水を供給しながら加工を施す加工手段と、供給された加工水を排水路に導く蛇腹部とから少なくとも構成される切削装置であって、
該蛇腹部を構成するテント部には、絶縁部材と、該絶縁部材をサンドイッチ状に挟む第一の導電性部材及び第二の導電性部材とが積層された構造の漏水検出層が形成され、該第一の導電性部材及び該第二の導電性部材に電源部及び電流検出手段が連結されて検出回路が形成されており、該蛇腹部は、複数のテント部により構成され、各テント部には個別に漏水検出層が形成され、該電流検出手段において電流を検出したときは、漏水があった旨をオペレータに報知する切削装置。
IPC (2件):
H01L 21/301 ( 200 6.01)
, B23Q 11/00 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01L 21/78 F
, B23Q 11/00 D
引用特許:
審査官引用 (8件)
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漏液検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-302675
出願人:株式会社ディスコ
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ダイシング装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-243146
出願人:ソニー株式会社
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漏水検知型可撓性管継手
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-267933
出願人:有限会社サンケイ技研
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漏水検知型可撓性管継手
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-052828
出願人:有限会社サンケイ技研
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特公昭62-030345
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特開平1-096524
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特公昭39-021707
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切削装置のジャバラ機構
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-326020
出願人:株式会社ディスコ
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