ダイヤフラムポンプ

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉岡宏嗣
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-319097
公開番号（公開出願番号）：特開2001-132646
特許番号：特許第3740673号
出願日： 1999年11月10日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】圧力室が一方の面に開口して形成され、前記圧力室を画成する第1のダイヤフラムが他方の面に形成された第1の半導体層と、該第1の半導体層の前記圧力室の開口面側に積層され、前記圧力室に連通する吐出用の通孔と前記圧力室が負圧のときに開く入口バルブが形成された第2の半導体層と、該第2の半導体層の前記第1の半導体層の反対側に積層され、前記吐出用の通孔に対向する位置に前記圧力室が正圧のときに開く出口バルブと前記入口バルブに対向する位置に吸引用の通孔が形成された第3の半導体層と、前記第1の半導体層の前記第1のダイヤフラムの外面に取り付けられた該第1のダイヤフラムを往復変位させる駆動手段と、前記第2の半導体層と前記第3の半導体層の接合部の第2の半導体層側に空間を形成して、該空間と前記圧力室とを隔離して形成された第2のダイヤフラムと、該第2のダイヤフラムに取り付けられた歪みゲージとがマイクロマシニング技術により製作され、前記歪ゲージにより検出される前記圧力室の圧力が異常圧力のとき前記第1のダイヤフラムの振動数を制御して正常時の振動数よりも大きな振動数で前記第1のダイヤフラムを変位させる制御手段を有してなるダイヤフラムポンプ。

IPC (1件)：

F04B 43/02 ( 200 6.01)

FI (1件)：

F04B 43/02 E

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭60-230575
特開平3-225085
小型ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-116355 出願人：松下電工株式会社

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審査官引用 (9件)

定量ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-287060 出願人：東芝セラミックス株式会社
特開昭60-230575
特開平3-225085

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