研究者

J-GLOBAL ID：201201067989257863 更新日: 2024年01月30日

佐藤直幸

サトウナオユキ | Sato Naoyuki

所属機関・部署：
職名：准教授

研究分野 (1件)：プラズマ科学

研究キーワード (1件)：プラズマの生成,制御,及び,その機能性材料・デバイスへの応用

競争的資金等の研究課題 (11件)：

2022 - 2023 吸引プラズマの研究
2006 - 2008 プラズマチャンバー内における異常放電発生のリアルタイムモニタリング技術の研究
2005 - 2006 生体試料の高分解能深さ方向分析を目指した小型低速C_<60>クラスターイオン銃の開発
2004 - 2006 機能性複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発
2000 - 2001 動重力効果を用いたプラズマ電位の新しいプローブ測定法の開発

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論文 (10件)：

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特許 (7件)：

太陽電池の製造方法
酸化亜鉛透明導電膜の製造方法及びこの方法を実施するための製造装置
携帯型大気圧プラズマ発生装置
超微細パターン凹構造の形成方法
プラズマ電位測定方法及び装置JPB_0004287724

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講演・口頭発表等 (6件)：

ECR プラズマ作製 Cu/Cu2O-PV の特性計測手法の改良 IBK-22-091
(令和4年度(第30回)電気学会東京支部茨城支所研究発表会 2022)
低抵抗ZnO透明導電膜向けZn-O2混合プラズマ中のZnO分子のOES観察
(2022)
ECR プラズマ作製 Cu/Cu2O-PV セルの起電力計測システムの改善
(2022)
VHF帯CH4プラズマを用いた真鍮上炭素系膜の剥離に与える膜厚の影響
(2021)
Zn-O2混合プラズマによるZnO透明導電膜の高速低温合成
(2020)

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学歴 (1件)：

1987 - 1990 東北大学大学院工学研究科電子工学専攻

学位 (1件)：

工学博士 (東北大学)

委員歴 (3件)：

2022/04 - 現在電気学会放電・プラズマ・パルスパワー技術委員会 1号委員
2022/04 - 2024/03 社団法人電気学会,放電・プラズマ・パルスパワー技術委員会放電・プラズマ・パルスパワー技術委員
2012/05 - 2015/05 社団法人電気学会プラズマ技術委員会 1号委員

所属学会 (1件)：

社団法人電気学会

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